項目背景
磁控濺射靶材主要應用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。透磁率可以作為評估磁性靶材透磁性能的有效指標，其測試方法還沒有相應的行業(yè)標準，很大程度上制約了國內(nèi)磁性濺射靶材的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。
解決方案
1、測試設(shè)備：CIM-3140RMT透磁率測量裝置 CIM-3140RMT透磁率測量裝置是一款樣品透磁測量設(shè)備，主要用于磁性濺射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等參數(shù)測量，并對測試結(jié)果進行統(tǒng)計分析，可繪制PTF曲線圖、%PTF曲線圖。 具有文件管理、測試和數(shù)據(jù)（圖形）輸出等功能， 可滿足用戶對磁性濺射靶材的測試、數(shù)據(jù)（報告）輸出及數(shù)據(jù)管理等需求。
2、設(shè)備特點
⑴、RMTest透磁測量系統(tǒng)為綠色軟件，無需繁瑣的安裝過程。
⑵、測量軟件運行于Windows XP或 Win 7 操作系統(tǒng)下，符合Windows軟件規(guī)范，操作直觀簡捷。
⑶、采用橫向探頭測量樣品表面的透磁。
⑷、磁強計具備自動清零功能，能一鍵對表頭零點進行清零。
⑸、可在軟件界面選擇磁場測試量程，無需通過手動按鍵切換量程檔位。
⑹、測試結(jié)果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
⑺、可導入多組數(shù)據(jù)進行多個半徑曲線對比。
⑻、測試結(jié)果在PTF或%PTF坐標上可以通過雙擊波形調(diào)出單點捕捉功能，可以在軟件界面最下方顯示鼠標 當前選中位置點的相對角度和磁場強度值。
⑼、儀器自帶水平儀。
⑽、支持各種型號的噴墨或激光打印機，可直接打印測試報告。
⑾、可直接通過E-mail發(fā)送彩色的測試報告。
⑿、有數(shù)據(jù)庫功能,可將測試數(shù)據(jù)輸出到EXCEL中，便于對測試結(jié)果進行分析。
⒀、可將測試報告轉(zhuǎn)換（保存）為圖片文件，以方便在論文中插圖。
3、主要技術(shù)參數(shù)
項目 | 指標 | |
系統(tǒng)控制 | PC+6616PX 16位數(shù)據(jù)采集卡 | |
X單軸行程 | 0-250mm，電動調(diào)節(jié) | |
Z單軸行程 | 0-200mm，手動調(diào)節(jié) | |
R旋轉(zhuǎn)軸 | 角度刻線間隔5度，旋轉(zhuǎn)速度1-6度/秒可調(diào) | |
測試時間 | 測試時間可調(diào)，最快60秒/圈 | |
測量范圍 | 試樣外徑Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm | |
磁強計 | 量程 | 1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs |
測量精度 | 滿量程達0.5% | |
測量參數(shù) | PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp | |
A/D數(shù)據(jù)采集 | 16Bits，旋轉(zhuǎn)分辨率：3600點/360o | |
測量結(jié)果重復度 | 小于0.5% | |
測量軟件 | Windows 7運行環(huán)境，測量數(shù)據(jù)可以EXCEL形式保存在硬盤，可隨時查詢 | |
測量報告 | 透磁場坐標和透磁率坐標 | |
合格判定 | 按標準進行判定 | |
4、軟件界面
5、測試曲線.